超精密气浮定位平台是光刻机、精密加工机床、IC 封装设备等的关键部件。定位平台按导轨形式可分为机械式、磁悬浮式和气浮式等，机械式导轨由于摩擦、死区等特性难以达到超精密的定位要求，而磁悬浮式和气浮式导轨因为没有摩擦，故能实现超精密定位。磁悬浮式导轨需要高性能的控制系统，制造成本较高，气浮式导轨则具有结构简单、质量轻便和设计灵活等优点，设计的超精密定位平台采用气浮式导轨。超精密气浮定位平台在工作中会受到驱动系统的冲击力、负载的惯性力、气体的脉动力等复杂载荷的作用，还会受到环境振动的干扰，对于需要微米、亚微米甚至纳米级定位精度的定位平台，如果其结构动力学特性设计不好，在工作中发生共振，将严重影响其定位精度。因此通过运用Solidworks 建立三维模型，再将此模型导入 Ansys 中进行有限元的模态分析，校核其动态刚度，并分析相关参数对结构刚度的影响，最终使超精密气浮定位平台满足动态刚度的要求。
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